當今的半導(dǎo)體工業(yè),器件的尺寸已經(jīng)進入了納米時代。正當越來越多的人開始認為摩爾定律即將失效的時候,層出不窮的新技術(shù),一再刷新著人們對半導(dǎo)體工業(yè)未來的的認識。這些技術(shù)包括高介電常數(shù)材料High-K,金屬柵技術(shù),銅互聯(lián)技術(shù),拉伸硅技術(shù),SOI工藝。 與此同時,各種新型的器件也是層出不窮,F(xiàn)INFET,碳納米管這些富有想象力的新型器件也讓人們對半導(dǎo)體工藝的發(fā)展越來越充滿信心。隨著半導(dǎo)體工藝向45nm挺進。無論是在芯片設(shè)計公司還是芯片制造公司,測試工程師都面臨著越來越大的挑戰(zhàn)。如何應(yīng)對這些挑戰(zhàn)? 您將在本講義中找到